200mm 立式爐管
本公司於2010年開始對外作 200mm 立式爐管販賣,
以台灣自製的設備來提供服務,本設備開發是經由工業局
專案補助開發完成,8"立式爐管由Robot 傳送,取代人工傳送
晶圓,減少
本公司於2010年開始對外作 200mm 立式爐管販賣,
以台灣自製的設備來提供服務,本設備開發是經由工業局
專案補助開發完成,8"立式爐管由Robot 傳送,取代人工傳送
晶圓,減少外在的污染。
製程範圍:APCVD Oxide, Anneal
LPCVD POLY(620~655度)
由台灣自製,提供較佳的成本選擇,外製設備價格高,全新設備
價格高,中古設備風險高。
本設備使用PLC為控制單元,穩定度高,不會因為版本更新而造成
零件短缺,維修容易(目前皆為模組化)。
製程溫區3~5段P.I.D控制(自由選擇)。
氣體控制為MFC控制。
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