功能：與避震器安裝於機台上，可提供 (1)控制機台於避震器安裝面積內的水平高度 (2)以控制入氣壓與出氣壓原理，快速配控避震器內出入的氣壓，已達到快速減振並調平水平高度的功效。
德製主動式氣壓避震器(快速自動調平)
MV CFM MAS Pneumatic isolator
MV CFM MAS Pneumatic isolator
MAS-C 水平控制閥特性
規格：水平控制閥精度 MAS-C: ±0.05mm
功能：與避震器安裝於機台上，可提供
(1)控制機台於避震器安裝面積內的水平高度
(2)以控制入氣壓與出氣壓原理，快速配控避震器內出入的氣壓，已達到快速減振並調平水平高度的功效。
功能：與避震器安裝於機台上，可提供
(1)控制機台於避震器安裝面積內的水平高度
(2)以控制入氣壓與出氣壓原理，快速配控避震器內出入的氣壓，已達到快速減振並調平水平高度的功效。
MV-MAS 氣壓式避震器
產地：德製(MV-MAS)
功能：氣壓式自動調平避震器支援機台，提供持續性並不間斷自動調整水平，使機台無論在動態或靜態運動中，環境晃動或震源導入等任何情形能快速減振與自動維持水平。
材質：鋁合金製，耐磨耗。
自然頻率：2.1~2.4 Hz
Damping：±20%(消除±80%)，於要求完美之環境下。回復水平時間與MAS LCV1搭配安裝，單一震動導入時，機台所需回復水平時間為3個循環動作約1.5秒。
使用方式：
1.依機台整體荷重選配避震器規格。
2.依機台水平要求挑選水平控制閥搭配安裝。
3.氣壓加入建議2.0~5.5 bar數。
功能：氣壓式自動調平避震器支援機台，提供持續性並不間斷自動調整水平，使機台無論在動態或靜態運動中，環境晃動或震源導入等任何情形能快速減振與自動維持水平。
材質：鋁合金製，耐磨耗。
自然頻率：2.1~2.4 Hz
Damping：±20%(消除±80%)，於要求完美之環境下。回復水平時間與MAS LCV1搭配安裝，單一震動導入時，機台所需回復水平時間為3個循環動作約1.5秒。
使用方式：
1.依機台整體荷重選配避震器規格。
2.依機台水平要求挑選水平控制閥搭配安裝。
3.氣壓加入建議2.0~5.5 bar數。
MV-MAS 氣壓式避震器高度
真空時153mm，加入氣壓後升高4~8mm，機台安裝避震器後，承受運動及外力或壓力時避震器會跟著運作以維持水平。
氣壓安裝
安裝避震器建議加入最大立氣壓：7 bar (Bar數=機台重量/受力面積)。標準加入最大氣壓為7 bar，但依貴公司不同機台不同重量，將適當依正確重量向您建議加入氣壓之bar數。
P.S. 出廠成品測試為瞬間充壓10bar。
P.S. 出廠成品測試為瞬間充壓10bar。
MV-MAS 氣壓式避震器高度
真空時153mm，加入氣壓後升高4~8mm，機台安裝避震器後，承受運動及外力或壓力時避震器會跟著運作以維持水平。
https://www.seoweb66.com/web/QA?postID=911264中頻電漿電源系統
應用於電路板製造業之除膠渣製程、面板，玻璃，塑膠產業之表面清潔、電漿輔助化學沉積製程
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