精密陶瓷-半導體光電陶瓷

•本公司精密加工各類陶瓷零件：氧化鋁、氧化鋯、氮化矽、碳化矽、氮化鋁、石英等超硬陶瓷材料。

應用：半導體設備以及LCD設備之關鍵零組件及耗材多應用於前段製程，如：離子植入、微影顯像、化學氣相沈積成膜、蝕刻、濺鍍、洗淨、MOCVD磊晶等製程設備，其中有一大部份是使用在真空腔體環境中 ，也因在真空腔體環境下長時間使用化學氣體的情況下，腔體內部所需使用的零件就特別需要注意是否可以耐酸鹼，耐腐蝕，耐磨擦…等。