裝置簡要晶片・芯片移載機 | Chip Sorter | 揀晶機 - 晶圓高速移載
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將晶粒切割後的工作物（Work）利用4支吸嘴上推吸附，並利用影像處理進行校準（Alignment）修正後，收納於棧板中的裝置。 由於採用X軸線性馬達，可進行雙讀取頭的個別動作，因此具備優異的擴充性。 在中間的交接載台（Stage）部配置檢查單元（Unit），亦可實施各種檢查。 |
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■應用案例 |
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將晶粒切割後的工作物（Work）利用4支吸嘴上推吸附，並利用影像處理進行校準（Alignment）修正後，收納於棧板中的裝置。 由於採用X軸線性馬達，可進行雙讀取頭的個別動作，因此具備優異的擴充性。 在中間的交接載台（Stage）部配置檢查單元（Unit），亦可實施各種檢查。 |
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