二相步進馬達,五相步進馬達,直線步進馬達,中空軸步進馬達
TAMAGAWA 二相步進馬達其基本步級角為1.8度（200 次/轉），搭配市售微步進驅動器可將基本步級角再細分，是目前步進馬達應用市佔率最高的機種。
TAMAGAWA 五相步進馬達之基本步級角為0.72度（500 次/轉），搭配市售微步進驅動器可將基本步級角再細分。
直線步進馬達:
將傳動機構直結於馬達內，無須額外的聯軸器、螺桿、齒輪、齒條等部件，簡單地實現直線精密定位的功能，可有效運用空間，節省機構設計、組裝時間及機台之總體成本。
貫通軸式：為標準形式直線步進馬達，由內部帶有螺母功能的馬達及貫通馬達之螺桿所構成。
外部驅動式：由出力軸為螺桿形式的馬達，搭配可鎖固在載台上之螺母所構成。
中空軸步進馬達:
馬達軸心中空通孔，前後軸端搭配內螺牙
有效結合真空套件，旋轉定位吸放一體完成
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防腐真空幫浦利用隔膜作動理(Diaphragm)原理，不需油來潤滑，故不用定期保養也無油霧汙染的問題
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