可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
功能 可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等 特色 .高密度電漿源,電漿效率高,減少製程時間 .專利設計之特殊電漿電極 .特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計 .處理之均勻性佳 .電漿均勻性佳 .可使用多種製程氣體 .全自動且容易操作 .設備穩定高,容易維護 .可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台 應用產業 .PCB、FPC .印刷或黏著前之表面粗化或清潔