SMIF Pod - 晶舟自動化傳送盒
SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒,自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette),可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)
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產品名稱:SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒 |
產品編碼:WSP200 |
產品尺寸:
292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm |
重 量:2600g |
容 量:1 Set 8”Wafer Cassette |
適用晶圓:200mm(8吋)晶圓 |
組成材質:PC/PC ESD |
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SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒,自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette),可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
高潔淨度承載,選配充氣功能,耐高溫耐磨耗材質
CHD三點定位接觸設計,減少印痕
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8" 晶舟自動化傳送盒 |
8" 晶舟自動化傳送盒 |
底盤無螺絲設計版本 |
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專利字號:
台灣專利字號第M409526號
可搭配RFID電子貨架使用,可自動讀取RFID,記錄每個格位最近100筆RFID資料,並透過人機介面查詢。
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