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鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋)

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鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋)

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 為 承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋) (High Profile)
 
鐵氟龍晶舟盒
產品規格
產品名稱：6" Teflon Cassette / PFA Cassette
產品編碼：PF-C150
產品尺寸：
　143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm
重　　量：1043g
容　　量：25 PCS
適用晶圓：6 inch (Ø150mm)晶圓
組成材質：Teflon(鐵氟龍) / PFA
槽　　距：4.76mm
 
產品說明
鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 為 承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。 鐵氟龍晶舟盒
進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用
進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用。
鐵氟龍晶舟盒

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 2"~8" 25 slot (High Profile)

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別 備註 產品編碼 尺寸 裝箱數
2" 無豆 PF-C050-B 142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm 10 PCS
2" 有豆 PF-C050 142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm 10 PCS
2.5"   PF-C060 142(L) x 79(W) x 73(H)mm N/A
3"   PF-C075 142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm 1 PCS
4"   PF-C100 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
4" 鏤空 PF-C100-H 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
5"   PF-C125 152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm 6 PCS
6"   PF-C150 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 黑色 PF-C150-B 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 12 Slot PF-C150-T 177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" Low Profile PF-C150-L 143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm 12 PCS
8"   PF-C200 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 鏤空 PF-C200-H 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 13 Slot PF-C200-T 203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" Low Profile PF-C200-L 220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm 1 PCS
12" 13 Slot PF-C300-T 350(L) x 180(W) x 320(H)mm N/A

 
產品特點
Cassette依材質特性的選擇參考：
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶舟盒		 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕，
可焊接，缺點易變形。		 一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫，
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
 
客製化項目
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
鐵氟龍晶舟盒 / Cassette 加裝RFID   鐵氟龍晶舟盒 / Cassette 雷雕
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