製程晶舟盒/晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器，使用在站別運輸或出貨用途，不可使用於化學製程。 可選抗靜電材料 Thin Wafer承載方案 廠內傳送使用
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200mm(8吋) Double Slot Cassette 晶圓盒/晶圓傳送盒/晶圓載具 |
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