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金屬晶圓盒 75mm(3吋)

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金屬晶圓盒 75mm(3吋)

金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體，二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體，二級發光體長晶磊晶電池片製程中。

金屬晶圓盒 75mm(3吋) / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣
 
金屬晶圓盒
產品規格
產品名稱：3" Metal Cassette
產品編碼：MT-C075
產品尺寸：
　143.2(L) x 89.6(W) x 85(H)mm
重　　量：
容　　量：25 PCS
適用晶圓：3 inch (Ø75mm) 晶圓
組成材質：Metal
槽　　距：4.76 mm
 
產品說明

金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體，二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體，二級發光體長晶磊晶電池片製程中，耐高溫，廠內傳送使用。

 金屬晶圓盒
金屬晶圓盒

金屬晶圓盒 / 鐵製晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / 
Metal Cassettem 2"~12"

吋別 備註 產品編碼 尺寸(mm)
2" Metal Cassette 25 Slot MT-C050 142.6(L) x 62(W) x 58.5(H)
3" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C075 143.2(L) x 89.6(W) x85(H)
4" Metal Cassette 25 Slot MT-C100-A 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-B 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-C 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 12 Slot MT-C100-T 143.38(L) x 177.8(W) x 171.33(H)
6" Metal Cassette 25 Slot MT-C150-A 143.38(L) x 177.8(W) x 171.4(H)
6" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C150-B 165.3(L) x 143(W) x 159(H)
6" Metal Cassette 50 Slot MT-C150-C 158(L) x 176(W) x 165.5(H)
6" Metal Cassette 12 Slot MT-C150-C 158(L) x 176(W) x 165.5(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-A 214(L) x 202.7(W) x 206(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-B 205.54(L)x240(W)x218.94(H)
12" Metal Cassette 25 Slot MT-C300 312(L) x 388.8(W) x 316.8(H)

 
產品特點
Cassette依材質特性的選擇參考：
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程
Metal Cassette
鐵製晶圓盒		 280~300℃ 可客製化設計及修改，堅固耐用、不易毀損，並防止Particle、沾污等問題。 高溫製程
PP Cassette 40~60℃ 重量輕，
可焊接，缺點易變形。		 一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫，
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
加裝RFID   雷雕
加裝RFID   Cassette 雷雕
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