Wafer Frame Cassette / 晶圓框架提籃 應用於半導體封裝製程中,承載固定晶圓的框架(Metal Frame) ,抗靜電材料,輕量化、密閉設計,隔離保護晶圓,用於各製程機台傳送儲存及保護封裝晶圓。
OHT Frame Light Cassette / 客製化OHT晶圓框架提籃 *
Frame Light Cassette / Wafer Frame Cassette / 晶圓框架提籃 應用於半導體封裝製程中,承載固定晶圓的框架(Metal Frame) ,抗靜電材料,輕量化、密閉設計,隔離保護晶圓,用於各製程機台傳送儲存及保護封裝晶圓。
門片可客製化設計,無門片款、支援SEMI機械開啟門片款,皆可客製開發。
因應工業4.0智能工廠的趨勢,開發支援OHT Handling的Frame Cassette,傳輸上可搭配AMHS,減少人力搬運作業。
專利字號: 台灣專利字號第M489156、M508114號 中國大陸專利字號第CN204792730U號