日本製離子源之鉬電極板

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日本製離子源之鉬電極板

代理日本製造的離子源(Ion source)柵極組件, 可供應三片一套的鉬電極板(Mo Grid)

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本公司代理日本製造的離子源 ( Ion source
柵極組件,為三片一套的
鉬電極板(Mo Grid)
依序分別為遮蔽電極、加速電極及減速電極,
並經過專業特殊之
表面曲率成型加工及精密
鑽孔加工。
離子源之鉬電極板(Mo Grid)特別使用於高階
的光學鍍膜製程中,例如採用的
離子輔助蒸
(Ion-beam Assisted Deposition )相關離子
設備。


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