氬離子束樣品裝備系統
可獨立分別調整能量和拋光角度的雙離子槍,橫截面拋光和平面拋光兩機一體,氬離子槍能量範圍從100eV到10kV。
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單鍵全自動化操作,操作參數可儲存,即時影像觀察樣品剪薄的過程,操作簡易,維護方便。
樣品載台自動高度偵測(eucentric point),Cross-Section polishing(離子束剖面研磨),Cross-section station精準的對位系統,簡易的操作介面。Ion milling (surface cleaning) and EBSD sample preparation
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