靶材貼合服務,殘靶剝離服務,銲層檢測服務,靶材表面

~靶材貼合: 將「濺鍍靶材」及「背板」，依其材料材質及特性選用適合的銲料，將這兩種不同的材料貼合，經由超音波檢測設備，確保貼合的品質。

~服務項目

◎ 靶材貼合服務
◎ 殘靶剝離服務
◎ 銲層檢測服務
◎ 靶材表面清潔服務
◎ 特殊噴砂粗糙度需求
◎ 靶材使用改善及良率提升服務

~競爭優勢

◎ 可提供各類型客製化靶材貼合服務(金屬、陶瓷、氧化物等靶材)
◎ 使用特殊的金屬化處理製程，減少製程時間及降低貼合成本
◎ 大型超音波設備檢測(C-Sacn：可掃描範圍3.5*2.2M)，確保貼合品質可靠度
◎ 製程重要參數SPC管控
◎ 無塵室真空包裝作業
◎ 金屬靶材真空包裝後防止氧化技術