本公司代客修改水平爐管，可與現有系統共存，不影響舊系統生產， 可修改: 1.加熱爐(分
本公司代客修改水平爐管，可與現有系統共存，不影響舊系統生產，
可修改:
1.加熱爐(分為三段或是五段)
2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
5.Gas Panle修改
可修改:
1.加熱爐(分為三段或是五段)
2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
5.Gas Panle修改
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